УФ-сплавленные стеклянные диски из кремниевого стекла для точных оптических и лазерных систем

УФ-сплавленные стеклянные диски из кремниевого стекла для точных оптических и лазерных систем

Материал

• Ультрафиолетовый расплавленный кремний: Синтетическое стекло, состоящее из высокочистого диоксида кремния (SiO2), оптимизированного для передачи ультрафиолетовых лучей (UV).

  • Оценки: Включает JGS1 (глубокая УФ-прозрачность, 1852500 нм) и JGS2 (2202500 нм), балансируя производительность и стоимость.

  • Чистота: Низкое содержание металлических примеси и гидроксила (OH) обеспечивают минимальную абсорбцию в УФ-спектре.

Ключевые свойства

1. Ультрафиолетовая прозрачность: исключительная передача от глубоких УФ до ближнего инфракрасного (НИР), критически важна для применения УФ-лазеров.

2. Тепловая устойчивость: Низкое тепловое расширение (≈0,55 x 10−6/°C) сопротивляется деформации при высокомощном лазерном воздействии или изменении температуры.

3. Устойчивость к химическим веществам: инертный к кислотам, растворителям и плазме, идеально подходит для суровой промышленной среды.

4. Порог повреждения лазером: Высокая устойчивость к повреждениям, вызванным лазером, подходит для импульсных и непрерывных лазеров.

5. Качество поверхности: Полированный до λ/10 плоскости с минимальными дефектами подповерхности, обеспечивающими точное управление лучей.

6. Однородность: Единый показатель преломления (±5 x 10−6) для оптики без искажений.

Функция

• Оптические окна: Пропускает УФ-свет, защищая чувствительные компоненты от факторов окружающей среды.

• Субстраты: служат основой для покрытий (антирефлекторных, диэлектрических) в зеркалах, фильтрах или разделителях лучей.

• Доставка луча: поддерживать целостность луча в лазерных полостях, коллиматорах и системах фокусировки.

• Оптические плоскости: Для интерферометрии и калибровки должны быть предусмотрены эталонные поверхности.

Заявления

• Лазерные системы: УФ-эксимерные лазеры, системы Nd:YAG и фемтосекундные лазеры для направления луча и выходных окон.

• Полупроводниковая литография: Ультрафиолетовое освещение в фотолитографических масках и шаговых системах.

• Точная оптика: зеркала телескопа, слайды микроскопа и компоненты интерферометра.

• Медицинские изделия: оборудование для ультрафиолетовой стерилизации, инструменты для лазерной хирургии и диагностика с помощью визуализации.

• Аэрокосмическая и оборонная промышленность: УФ-датчики, системы LIDAR и высокоэнергетические лазерные (HEL) приложения.

• Исследования: Спектроскопия, УФ-фотоника и эксперименты по квантовой оптике.