Антиотражающее покрытие оптических стеклянных подложков для систем инспекции

Антиотражающее покрытие оптических стеклянных подложков для систем инспекции

Материал:

• Базовая субстрат: высокоточное боросиликатное стекло (например, Борофлоат 33) или расплавленный кремний, выбранный для исключительной плоскости, тепловой устойчивости и химической устойчивости.

• Технология покрытия: многослойные диэлектрические покрытия (например, MgF2, SiO2, Ta2O5), применяемые с помощью точного магниторонного распыливания или отложения паром.

• Типы конструкции: настраиваемые как широкополосный AR (видимый спектр NIR) или V-покрытие (оптимизация одной длины волны).

Ключевые свойства:

1. Ультра-низкая отражательность: достигает <0,5% отражательности поверхности (против 4-8% для непокрытого стекла), максимизируя пропускную способность света.

2. Высокая эффективность передачи: обеспечивает передачу >99,5% света в целевых длинах волн, минимизируя потерю сигнала.

3. Угловая устойчивость: поддерживает производительность на углах инциденции 0-45°, критически важных для наклонной визуализации.

4. Устойчивость к окружающей среде: устойчивость к деламинированию, влажности и ультрафиолетовой деградации при непрерывной работе.

5. Качество поверхности: шероховатость под анстром (<5Å Ra) предотвращает рассеивание света.

6. Тепловая и химическая устойчивость: выдерживает очистные растворители и тепловые циклы (-60 °C до +300 °C).

Основная функция:

• Для устранения блуждающих отражений и максимизации контраста в высокоточных оптических системах инспекции.

• Минимизирует изображения призраков и вспышки, вызванные поверхностными отражениями.

• Улучшает соотношение сигнал-шум для точного обнаружения дефектов.

• Сохраняет интенсивность света на сложных оптических путях.

Основные применения в системах инспекции:

1. Полупроводниковая метрология:

   • Сканеры дефектов вафли

   • Литографическая оптика для проверки EUV

   • Системы выравнивания масок

2. Автоматизированная оптическая инспекция (AOI):

   • Проверка сборки ПКБ

   • Установка дефектов на панели дисплея (OLED/LCD)

3. Биомедицинская визуализация:

   • Микроскопические цели патологии

   • Линзы для цитометрии потока

4. Системы промышленного зрения:

   • Датчики лазерной триангуляции

   • Линзы машинного зрения для сборочных линий

5. Аэрокосмическая НДТ:

   • Окна с ультразвуковыми зондами

   • Оптические эндоскопы для осмотра турбин

6. Испытания фотоники:

   • Оптические интерферометрические пластины

   • Окна спектрометра

В сущности:Антиотражающее покрытие оптических стеклянных подложковявляются деталями с высокой точностью, которые решают проблемы точности, вызванные отражением, в критических системах инспекции.Применение передовых многослойных диэлектрических покрытий на ультраплоские боросиликатные или расплавленные силиконовые субстраты, они достигают почти невидимых поверхностных характеристик (< 0,5% отражательности), что позволяет обнаруживать дефекты в микроновых/субмикроновых масштабах.Эти субстраты напрямую повышают надежность полупроводниковой метрологии, оборудование AOI, и биомедицинские инструменты визуализации, где каждый фотон имеет значение.